真空(kong)度顯示(shi):顯示腔體內部的真空度數值
運行程序段:分為3個步驟,綠色表示運行狀態
①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣
進氣流(liu)量顯示:通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小,在兩個圖標顯示,上部顯示為A流量,下部顯示為B流量
時間:顯示設備清洗時間
功率:顯示當前設備(bei)清洗是清洗功率
設備(bei)溫度:顯示當前射頻電源設備溫(wen)度
放(fang)氣狀態(tai):顯(xian)示當(dang)前放氣閥(fa)開啟或關閉狀態
清洗時間(jian):點擊可設置(zhi)設備(bei)運行清洗時(shi)間
清洗功率(lv):點擊(ji)可設(she)置設(she)備運行(xing)清洗功率(lv)
開始運行:點擊可切換設備開始運行或者停止運行
參數設置(zhi):非專業人士請勿(wu)調節,如有需(xu)要請聯系廠家人員
射頻電源(yuan)開關:按下產品前面板左邊的電源按鈕 此時產品通電啟動 液晶顯示屏點亮, 顯示啟動界面 2 秒,然后進入相應工作狀態顯示界面。在按一下則關閉射頻電源。
功率調節旋鈕:射頻功率調節,通過旋轉前(qian)面板(ban)上的功率(lv)設置旋鈕來增加或減(jian)小功率水平(順時針 旋轉為增加功率,逆時針旋轉為減小功率)。
射頻輸(shu)出的開啟和關閉:按下前面板上的射頻輸(shu)出 開【藍(lan)色(se)按鈕(niu)】 打開射頻輸(shu)出,同時定時器開始倒計時; 按下射頻(pin)輸出(chu) 關【紅色按鈕】 關閉射(she)頻輸出。
調節功率設置(zhi)旋鈕:顯示內(nei)容“Wf"前的數值會發生相應的變化(hua),此 時的數值為功(gong)率設定值;當按下射頻輸(shu)出 開【藍色按鈕】開啟射頻時,“RF OFF"將變成“Wr",Wf 前的數值也會從 0 上升,當然 Wr 前的數值也會根據負(fu)載情(qing)況發生相應(ying)的變化,如果射頻電(dian)源的后端負載為 50 歐時,Wr 前的數值將為 0,即此時射頻(pin)輸出無反射功率;否則,Wr 前數值將根據負載情況顯示(shi)相應的反射功率值。
手動匹配器:通過調(diao)節前面板上的【MATCH】控制區的【TUNE】和(he)【LOAD】旋鈕實現匹配器的手 動匹配,反射功率減低到 0W。
【MATCH】控制 【最大反射】指示 【手動匹配】指(zhi)示
手動調節【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調(diao)節【TUNE】旋鈕,如果 Wf 數值(zhi)增加(jia),證明調節的百(bai)分比方向(xiang)正確,否則往相反的方向調節;到 Wf 數(shu)值到達設置最大值,通過微調兩個旋鈕,實現 Wr 數值減低; b.調節【LOAD】旋(xuan)鈕的方法同理。(通過兩個旋鈕調節觀察Wf值根據旋鈕調節變大 Wr值根據旋鈕調節變小)
2、軟件(jian)語言選擇
按下前面板上的(de)【MENU】鍵進入主菜單(dan)中,通過前面板上的(de)【UP】或【DOWN】鍵(jian)
選中主(zhu)菜單中的第 1 項(xiang)“Lang./語言"并按下【MENU】鍵確認(ren),進入子菜單選中“English"
或“中文"并按【MENU】鍵確認即可切(qie)換相應的語言
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