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磁控濺射儀

簡要描述:KT-Z1650PVD是(shi)一款小型(xing)臺(tai)式濺(jian)(jian)射(she)(she)功(gong)(gong)(gong)率可控磁控濺(jian)(jian)射(she)(she)儀,儀器雖小功(gong)(gong)(gong)能(neng)齊全,配備有電壓 電流反饋,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai)旋(xuan)轉,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)高(gao)度(du)調(diao)節,及電動擋板功(gong)(gong)(gong)能(neng)。通過(guo)定時調(diao)節預濺(jian)(jian)射(she)(she)功(gong)(gong)(gong)率及薄膜沉(chen)積功(gong)(gong)(gong)率,可對大部(bu)分金屬(shu)進(jin)行均(jun)勻物理沉(chen)積,真空腔(qiang)室為透明石英玻璃減少樣(yang)(yang)(yang)品(pin)污染,樣(yang)(yang)(yang)品(pin)臺(tai)可旋(xuan)轉以獲得更均(jun)勻的薄膜,可制(zhi)備各種金屬(shu)薄膜。

  • 產(chan)品型號:
  • 廠(chang)商性質:生產廠家
  • 更(geng)新時間:2023-09-08
  • 訪(fang)  問  量:5378
詳細介紹
品牌助藍科技濺射氣體詳詢
樣品臺尺寸詳詢mm控制方式詳詢
樣品倉尺寸詳詢mm靶材尺寸詳詢mm
靶材材質詳詢價格區間面議
產地類別國產應用領域電子

       KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖(sui)小功(gong)能齊(qi)全,配備(bei)有電(dian)(dian)壓 電(dian)(dian)流反饋,樣(yang)品(pin)臺旋(xuan)轉,樣(yang)品(pin)高度調(diao)節,及電(dian)(dian)動擋(dang)板功(gong)能。通過定時(shi)調(diao)節預(yu)濺(jian)射功(gong)率及薄膜沉積(ji)功(gong)率,可對大部分(fen)金(jin)屬(shu)進行均勻物理(li)沉積(ji),真空腔室為透明石(shi)英(ying)玻璃減(jian)少樣(yang)品(pin)污染,樣(yang)品(pin)臺可旋(xuan)轉以獲得更均勻的薄膜,可制備(bei)各種金(jin)屬(shu)薄膜。

      目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐   CVD供氣系統   等離子清洗機   小型離子濺射儀   磁控濺射儀  石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

      公司與國(guo)內高校,科研院所有(you)多(duo)層次的(de)合(he)作(zuo)關系,建有(you)開(kai)放實驗室,相關領(ling)域的(de)教授、高級工(gong)程(cheng)師(shi)、博士(shi)參與公司產(chan)品(pin)的(de)研究和開(kai)發。我(wo)們秉承公司的(de)發展理(li)念,依(yi)靠嚴謹(jin)的(de)技術(shu)研發能(neng)力,科學(xue)合(he)理(li)的(de)生產(chan)工(gong)藝,精(jing)益求(qiu)精(jing)的(de)制(zhi)造要求(qiu),全心全意做好產(chan)品(pin)質量(liang)和服務工(gong)作(zuo),科探儀器時刻懷著(zhu)一顆(ke)真誠(cheng)的(de)心期(qi)待與您的(de)合(he)作(zuo)。

 

 

控制方式

7寸(cun)人機界面 手(shou)動 自動模式切換控制

濺(jian)射電源

40KHz濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程(cheng)序

大(da)功率

≤1000W

大輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流(liu)≤1A

極限真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋(dang)板類型

電控

真(zhen)空腔室

石(shi)英+不銹鋼腔(qiang)體(ti)φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (大可安裝(zhuang)φ50基(ji)底(di))

樣品臺(tai)轉速(su)

8轉(zhuan)/分(fen)鐘

樣品濺射源調節距(ju)離

40-105mm

真空測量(liang)

皮拉尼(ni)真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空(kong)接口

KF25抽氣(qi)口    KF16放氣(qi)口   6mm卡套進(jin)氣(qi)口

 

 

 

 
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