類(lei)型

高溫型室(shi)溫到350℃

高(gao)低(di)溫型(xing) 室(shi)溫到(dao)350℃  室(shi)溫(wen)到-196℃

腔體材質(zhi)

304不銹鋼 6061鋁合金(jin) 可選

腔體(ti)內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔(qiang)體外尺(chi)寸

150mmX80mmX32mm

腔(qiang)體重(zhong)量

不銹鋼材質 約(yue)1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可(ke)選配凹視窗用(yong)于減(jian)少窗口和樣品(pin)之(zhi)間距離(li)）

腔體抽(chou)氣口

KF16法蘭(lan)（其余(yu)接口規格可轉接）

腔體(ti)真空測量(liang)口

KF16法(fa)蘭（其余接口規(gui)格可轉接）

腔體(ti)進(jin)氣口(kou)

6mm快擰 或 6mm快插

腔體(ti)(ti)冷卻方式

腔(qiang)體(ti)水冷(leng)+上蓋氣冷

腔(qiang)體(ti)水冷接口

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體(ti)真空(kong)度

機械泵≤5Pa （5分鐘(zhong)）  分子(zi)泵≤5E-3Pa（30分(fen)鐘）

樣品臺

樣品臺材質(zhi)

不銹鋼 銀銅合金(jin) 純銀塊(kuai)

銀(yin)銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱(re)方(fang)式

電(dian)阻加熱

電阻(zu)加熱 液氮制(zhi)冷(leng)

樣品臺-視(shi)窗(chuang) 距離(li)

11mm（可選配凹視窗(chuang)用于減少窗(chuang)口(kou)和(he)樣品(pin)之間距離(li)到6mm）

樣品臺測(ce)溫傳感器

PT100型熱電阻(zu)

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃  室(shi)溫(wen)到(dao)-196℃

樣品臺測(ce)溫誤差

±0.5℃

樣(yang)品臺升(sheng)溫(wen)速率

高(gao)溫100℃/min  低溫7℃/min

溫控(kong)儀

溫(wen)度(du)顯示(shi)

7寸人機(ji)界面

溫控類型

標準PID溫(wen)控 +自整(zheng)定

溫度分辨(bian)率

0.1℃

溫控(kong)精度

±0.5℃

溫(wen)度信(xin)號輸入類(lei)型

PT100 （可選K  S  B型(xing)熱電偶）

溫(wen)控輸出(chu)

直流線性電源(yuan)加熱(re)

直流線性(xing)電源加熱+液氮流(liu)速控(kong)制器

輔助功(gong)能

溫度(du)數據采集并導出 實時(shi)溫度(du)曲線+歷史溫(wen)度曲線 可(ke)擴展真空讀數接(jie)口

溫控器尺(chi)寸

32cmX170cmX380cm

溫控(kong)器重量(liang)

約5.6KG

探針(zhen)

電信號接(jie)頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接(jie)頭 香(xiang)蕉插頭 線長1.2米(mi)

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質(zhi)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針(zhen)（可擴(kuo)展5探針）

探針(zhen)材質

鍍金鎢針(zhen) （其他材質可選）

探針尖

10μm

手動探針移動平(ping)臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需手動推(tui)動滑臺）

X軸(zhou)控制精(jing)度

≥500μm

R軸移(yi)動(dong)行(xing)程

120°    ±60°（需手動旋轉(zhuan)探針桿(gan)）

R軸(zhou)控制精度(du)

≥500μm

Z軸移動行程(cheng)

2mm    ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動螺紋調(diao)節(jie)探針桿）